THESYS™ C&D 系統可以根據需要設計為與氫氟酸 (HF) 的化學相容性。系統可與集成脫保護容器一起使用,也可以與您現有的容器一起使用。
主要特點
- 專為切割和脫保護而設計的自動化系統,解放您的合成儀。
- 先進的過程控制,可通過UV、電導率、壓力、溫度、流速或體積進行監測和控制。
- 可與脫保護容器配套,實現交鑰匙解決方案。
- OCELOT™ System Control – 我們最新的通用工廠相容自動化軟體。
- 根據需要與 HF 或其他化學品化學相容,並適用於危險區域。
- 可定製以滿足您的工藝和設施要求。