THESYS™ C&Dシステムは、必要に応じてフッ化水素酸(HF)との化学的適合性を考慮した設計が可能です。脱保護容器一体型のシステムもありますが、既存の容器を使用することもできます。
主な特徴
- 切断と脱保護のために設計された自動化システムにより、シンセサイザーを自由に使える。
- UV、導電率、圧力、温度、流量、体積によるモニタリングと制御が可能な高度なプロセス制御。
- ターンキー・ソリューションとして、脱保護容器と共に利用可能。
- OCELOT™ システムコントロール – 最新の汎用プラント対応オートメーションソフトウェア。
- HFまたは必要に応じてその他の化学薬品に化学的に適合し、危険区域での使用に適合する。
- お客様のプロセスおよび設備要件に合わせてカスタマイズ可能です。